半導體廢氣處理設備我們公司一直在做的,有著豐富的實戰經驗和產品設計制造能力,支持視頻驗廠,歡迎實體考察。
半導體工業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機成分。在此過程中,這些有機溶劑大部分揮發到廢氣中。目前,焚燒這種處理凈化方式較為適用于這種氣體排放。
一般半導體行業針對廢氣處理的解決方案如下:
(1)預處理階段:采用噴淋塔先對廢進行預處理,去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
(2)主要處理階段:在此階段,比較常見而有效方法有:UV光解,生物過濾分解,焚燒和催化燃燒等。
半導體廢氣處理廠主要廢氣有非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等,酸堿類,成分:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。
我們可以采用組合形式的來進行治理。UV光解凈化器,催化燃燒設備等廢氣治理設備,我們公司都有,歡迎咨詢。